활성 이벤트 6건 · 원본 알람 8건이 연결되어 있습니다. 원본 알람과 고주파 파형은 모두 보존됩니다.
이벤트 2원본 알람 26개별 알람 0
긴급 안전 경보는 사건으로 묶지 않고 즉시 따로 표시합니다. 지금 긴급 안전 경보는 0건입니다.
레이저 평탄도 스캔 센서 #2 · 변위 오프셋 기준 초과 (48.5 mm)
2층 초정밀 센서·AI 비전 라인 · 초정밀 센서 계측 라인
유틸리티 수집기 #3 · 보조 순환 펌프 #2 38분째 데이터 미수신
B1 유틸리티·클린룸·전력 센터 · 냉각·유틸리티 설비실 · 진단 보류
총 2건 중 1–2 표시
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